Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
В. Киреев, А. Столяров

Наверх
Обратно
8 800 250-06-18
Менюx
Моя корзина: нет товаровx
Нет товаров
Оплата и доставка
x
Ваш город: Вудбридж, вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Вам доступны способы оплаты:
  • при получении заказа
  • предоплата RBK: банковские карты, терминалы оплаты и многое другое
  • банковский перевод для физ. лиц
  • банковский перевод для юр. лиц
Авторизоваться
Вудбридж
x
Выбор города

Ваш город: Вудбридж ?

Ваш город: Вудбриджизменить )
Пункты самовывоза
Вам нравится эта книга?  
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
254 pуб.
В магазинах сети
Экономьте до 30% с бонусными баллами! При покупке вы получите
от 13 баллов
на свой бонусный счёт. Получить баллы и скидку
Вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Способы оплаты

Описание

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
далее Читать
Свернуть
   Читать далее
Серия:Мир электроники
Издательство:Техносфера
Год:2006
Страниц:192
Переплёт:твердый
ISBN:5-94836-039-3
Формат:60х90/16
Код:271956
В базе:ТЕХНОСФЕРА Киреев Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Авторы:Киреев, Столяров
Тематика:Автоматика, радиоэлектроника, связь

Мнения и отзывы

Написать отзыв
 
Авторизуйтесь, чтобы оставить свой отзыв о товаре «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров
Содержательный отзыв длиною более 300 символов, который будет принят модератором, принесёт вам 15 баллов для участия в нашей бонусной программе!  

С товаром «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» часто покупают

x

Этот товар есть в следующих магазинах:

Василеостровский р-н
1 шт.
Василеостровская
Василеостровская Василеостровский р-н Средний пр. В. О., д. 36/40 Средний пр. В. О., д. 36/40
Средний пр. В. О., д. 36/40
x

Если Вы обнаружили ошибку в описании товара «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров, выделите её мышкой и нажмите: Ctrl+Enter. Спасибо!

©2006-2017, ООО «Буквоед»
8 800 250-06-18

Спасибо за ваше обращение.
Его номер - .

Ответ будет направлен на указанную почту в ближайшее время.

x
x