Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
В. Киреев, А. Столяров

Наверх
Обратно
8 800 250-06-18
Менюx
Моя корзина: нет товаровx
Нет товаров
Оплата и доставка
x
Ваш город: Вудбридж, вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Вам доступны способы оплаты:
  • при получении заказа
  • предоплата RBK: банковские карты, терминалы оплаты и многое другое
  • банковский перевод для физ. лиц
  • банковский перевод для юр. лиц
Авторизоваться
Вудбридж
x
Выбор города

Ваш город: Вудбридж ?

Ваш город: Вудбриджизменить )
Пункты самовывоза
x
> Главная > Книги > Научная литература > Техническая литература > Автоматика, радиоэлектроника, связь >

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров

Вам нравится эта книга?  
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Экономьте до 30% с бонусными баллами!
При покупке вы получите
от 13 баллов
на свой бонусный счёт.
Получить баллы и скидку
Вы можете купить:
Оплата и доставка
x
Ваш город: Вудбридж, вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Вам доступны способы оплаты:
  • при получении заказа
  • предоплата RBK: банковские карты, терминалы оплаты и многое другое
  • банковский перевод для физ. лиц
  • банковский перевод для юр. лиц
x
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
АвторыКиреев, Столяров
СерияМир электроники
ИздательствоТехносфера
ТематикаАвтоматика, радиоэлектроника, связь
Год2006
Страниц192
Формат60х90/16
Переплёттвердый
Код271956
В базеТЕХНОСФЕРА Киреев Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
ISBN5-94836-039-3
 
Авторизуйтесь, чтобы оставить свой отзыв о товаре «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров
Содержательный отзыв длиною более 300 символов, который будет принят модератором, принесёт вам 15 баллов для участия в нашей бонусной программе!  

Вы можете купить товар «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров в наших магазинах в таких городах как Санкт-Петербург (см. карту ниже). Товар бесплатно будет отложен на ваше имя в выбранном магазине. Или заказать товар «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров в интернет-магазине «Буквоед» с доставкой по России.

Хиты продаж в разделе Техническая литература

С товаром Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров часто покупают

Книги с авторами «Киреев», «Столяров»

Этот товар есть в следующих магазинах:

Если Вы обнаружили ошибку в описании книги «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» В. Киреев, А. Столяров, выделите её мышкой и нажмите: Ctrl+Enter. Спасибо!
©2006-2016, ООО «Буквоед»
8 800 250-06-18

Спасибо за ваше обращение.
Его номер - .

Ответ будет направлен на указанную почту в ближайшее время.

x
x