Наверх
Обратно
8 800 250-06-18
Менюx
КорзинаАвторизоватьсяНаши магазиныПомощь
Моя корзина: нет товаровx
Нет товаров
Оплата и доставка
x
Ваш город: Судоверфь, вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Вам доступны способы оплаты:
  • при получении заказа
  • предоплата: банковские карты, терминалы оплаты и многое другое
  • банковский перевод для физ. лиц
  • банковский перевод для юр. лиц
Авторизоваться
Судоверфь
x
Выбор города

Ваш город: Судоверфь ?

Ваш город: Судоверфьизменить )
Пункты самовывоза
Вам нравится эта книга?  
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»

Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken
Hildebrandt Sven

Вы можете заказать:
Подробнее о технологии 
Экономьте до 30% с бонусными баллами! При покупке вы получите
от 231 балла
на свой бонусный счёт. Получить баллы и скидку
Вам доступны способы доставки:
  • отправка Почтой РФ (от 200 руб)
Способы оплаты

Описание

In der Halbleiterfertigung besteht aufgrund der Globalisierung und dem ständigen Kostenbewusstsein bei gleicher oder verbesserter Qualität der stetige Bedarf, die Fertigungsabläufe und Prozesse zu optimieren. Hierzu gehören auch die Verbrauchsmaterialien beim chemisch-mechanischem Polieren (CMP), die sehr kostenintensiv sind und die Qualität der Siliziumscheiben (Wafer) in der Halbleiterfertigung in hohem Maße beeinflussen. In diesem Buch wird ein Laser-basierendes Messsystem auf seine zuverlässige und praktische Eignung zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken untersucht. Dabei war es notwendig, das Zusammenwirken der verschiedenen Einflussfaktoren zu analysieren, um die notwendigen Anforderungen an das Messsystem festzulegen. Mit Hilfe des Lasermesssystems können die Dicke und auch der Abtrag des Poliertuches sehr genau, insitu und berührungslos ermittelt werden. Durch eine direkte Anbindung an das bestehende APC (engl. advanced process control)-System zur Prozesskontrolle kann somit ein gutes Monitoring des Fertigungsprozesses gewährleistet werden. Das integrierte Messsystem im Fertigungsablauf bietet weitere Potentiale zur Korrelation zwischen der Poliertuchdicke und den Einflussgrößen bei der Waferbearbeitung.
далее Читать
Свернуть
   Читать далее
Год:2012
Страниц:96
ISBN:9783639409543
Формат:22.9cm x 15.2cm x 0.5cm
Код:pod 6065968
Авторы:Hildebrandt, Sven
Тематика:Техническая литература

Мнения и отзывы

Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь на сайте, чтобы оставить отзыв и получить возможность заработать 15 бонусных баллов в бонусной программе
Оставить отзыв
Спасибо
за отзыв!
Отслеживать статус можно в
«Ваших отзывах».
Оставить отзыв
Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken
Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken
Hildebrandt Sven
 
Авторизуйтесь, чтобы оставить свой отзыв о товаре
Общее впечатление
Вам нравится эта книга?  
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесьна сайте, чтобы получить доступ к уникальному рекомендательному сервису «Буквоеда»
0 букв

Отзыв длиной более 500 букв, который будет принят модератором, принесет вам 15 баллов для участия в нашей бонусной программе!

Отзыв должен быть уникальным и содержательным: нельзя копировать отзывы, мнения и информацию с других сайтов.

Не содержать нецензурную брань.

Отзыв должен относиться к товару, на который он написан.

Без спойлеров.

Мы не рекомендуем пересказ аннотации или содержания.

Нельзя указывать ссылки на сторонние ресурсы и email адреса

Назад к написанию отзыва
×
x

Если Вы обнаружили ошибку в описании товара «Laserbasierende Messmethode zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken» Hildebrandt Sven, выделите её мышкой и нажмите: Ctrl+Enter. Спасибо!

©2006-2018, ООО «Буквоед»
8 800 250-06-18

Спасибо за ваше обращение.
Его номер - .

Ответ будет направлен на указанную почту в ближайшее время.

x
x