Нет отзывов
Купил 1 человек
Аннотация
| Издательство | |
|---|---|
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Страниц | 246 |
| Год, тираж | 2022, 200 экз. |
Не в наличии
Отзывы
0Описание и характеристики
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
| Код | 3061883 |
|---|---|
| Издательство | |
| Автор | |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Кол-во страниц | 246 |
| Год издания | 2022 |
| Тираж | 200 экз. |
| ISBN | 978-985-06-3395-8 |
| Раздел | Физика. Механика |
| Размеры | 1.8 см × 14.6 см × 20.5 см |
| Вес | 0.38 кг |