Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие

—

Нет оценок

Нет отзывов

Аннотация

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Издательство
ПереплетТвёрдый переплёт
Страниц277
Год, тираж2009, 1 000 экз.

Не в наличии

Отзывы

0

Уже читали эту книгу? Поделитесь вашим мнением!

Описание и характеристики

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Код2197915
Издательство
ПереплетТвёрдый переплёт
Кол-во страниц277
Год издания2009
Тираж1 000 экз.
ISBN978-5-94774-904-5
РазделАппаратное обеспечение
Размеры1.7 см × 14.5 см × 22.5 см
Вес0.38 кг
В магазине «Буквоед» закончилась книга «Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие». Когда книга снова поступит в продажу, можно будет сделать заказ из любого города России: от Санкт-Петербурга и Москвы до Казани и Краснодара. Дождитесь, пока появится надпись «Купить», чтобы получить «Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие» в магазине сети или заказать доставку. Мы и сами любим читать, поэтому делаем всё, чтобы вы могли купить понравившуюся историю по приятной цене. Например, организуем конкурсы и проводим акции. Оставайтесь с нами, чтобы не упустить выгоду!