Нет отзывов
Купили 5 человек
Аннотация
| Издательство | |
|---|---|
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Страниц | 204 |
| Год, тираж | 2022 |
Не в наличии
Отзывы
0Описание и характеристики
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
| Код | 2869052 |
|---|---|
| Издательство | |
| Автор | |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Кол-во страниц | 204 |
| Год издания | 2022 |
| ISBN | 978-5-97-290846-2 |
| Раздел | Автоматика. Радиоэлектроника. Связь |
| Размеры | 1.5 см × 15.3 см × 21.6 см |
| Вес | 0.36 кг |