Нет отзывов
Купили 3 человека
Аннотация
| Издательство | |
|---|---|
| Страниц | 122 |
| Год, тираж | 2019, 100 экз. |
1 099 ₽1 297 ₽
-15%
Осталось мало
как получить заказ
В магазинах сетиПослезавтра, 1 апреля — бесплатно
- В пунктах выдачиВ чт, 2 апреля — от 266 ₽
- КурьеромВ чт, 2 апреля — от 316 ₽
- Почтой РоссииВ пт, 3 апреля — от 529 ₽
Отзывы
0Описание и характеристики
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
.Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
| Код | 2723720 |
|---|---|
| Издательство | |
| Автор | |
| Иллюстратор | Асинкритова Я.М. |
| Кол-во страниц | 122 |
| Год издания | 2019 |
| Тираж | 100 экз. |
| ISBN | 978-5-70-384864-7 |
| Раздел | Автоматика. Радиоэлектроника. Связь |
| Размеры | 0.6 см × 16.5 см × 23.5 см |
| Вес | 0.21 кг |