Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

—

Нет оценок

Нет отзывов

Аннотация

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования .Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. .
СерияНанотехнологии
Издательство
ПереплетТвёрдый переплёт
Страниц283
Год, тираж2010, 770 экз.

Не в наличии

Отзывы

0

Уже читали эту книгу? Поделитесь вашим мнением!

Описание и характеристики

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования .Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. .
Код2525481
Издательство
СерияНанотехнологии
ПереплетТвёрдый переплёт
Кол-во страниц283
Год издания2010
Тираж770 экз.
РазделЭнергетика. Промышленность
Размеры1.5 см × 15 см × 22 см
Вес0.4 кг
В магазине «Буквоед» закончилась книга «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие». Когда книга снова поступит в продажу, можно будет сделать заказ из любого города России: от Санкт-Петербурга и Москвы до Казани и Краснодара. Дождитесь, пока появится надпись «Купить», чтобы получить «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие» в магазине сети или заказать доставку. Мы и сами любим читать, поэтому делаем всё, чтобы вы могли купить понравившуюся историю по приятной цене. Например, организуем конкурсы и проводим акции. Оставайтесь с нами, чтобы не упустить выгоду!