Нет отзывов
Аннотация
| Издательство | |
|---|---|
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Страниц | 422 |
| Год, тираж | 2011, 1 000 экз. |
Не в наличии
Отзывы
0Описание и характеристики
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области
.
.
.
.
| Код | 2197917 |
|---|---|
| Издательство | |
| Переплет | Твёрдый переплёт |
| Кол-во страниц | 422 |
| Год издания | 2011 |
| Тираж | 1 000 экз. |
| Раздел | Аппаратное обеспечение |
| Размеры | 2.2 см × 15 см × 22.2 см |
| Вес | 0.53 кг |